20. 下列關於光阻劑之敘述,何者正確?
(A) 是一種藉改變溶劑,使其溶解度發生變化的耐蝕刻薄膜材料
(B) 正型光阻劑曝光部分會溶於顯影液,未曝光部分則不溶於顯影液
(C) 一般而言,負型光阻劑之解析度優於正型光阻劑
(D) 光阻劑之溶解程度與溶劑浸泡時間及照射光線種類有關

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統計: A(4), B(6), C(0), D(5), E(0) #1884759