39.由晶棒切割下的晶圓，主要以下列何種加工方式，將其粗糙的表面磨平及拋光？
(A)精密外圓磨床
(B)放電加工
(C)化學機械研磨
(D)電化研磨

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統計： A(1), B(0), C(11), D(3), E(0) #1325832