56.下列有關化學氣相蒸鍍法(CVD)之敘述何者有誤？
(A)析鍍的機制為化學反應
(B)析鍍物為原子
(C)複雜形狀的搬鐘(throwing power)能力差
(D)—般製程其基材要加熱

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