題組內容

三、 為了改善零組件的表面性質,經常施予不同的表面改質(surface modification)處理,請回 答下列有關表面改質之問題:

⑶說明物理氣相沈積(physical vapor deposition)與化學氣相沈積(chemical vapor deposition)的原理。【6 分】