申論題

二、有機金屬化學氣相沉積法（MOCVD）為高科技廠製備化合物半導體薄膜之重要製程，由於會使用到有機金屬（如三甲基鋁等） 。由於其危害標 示有火焰之圖式，因此常被要求須進行火災爆炸危險區域劃分，並據此 設置合宜之防爆電氣。請說明有火焰圖式之化學品有那些？是否有火焰 標示之化學品作業區，皆須進行火災爆炸危險區域劃分和防爆電氣之設 置？從工業安全技師的專業角度，三甲基鋁作業場所是否需設置防爆電 氣？（25 分）
 （三甲基鋁：發火性液體第 1 級，禁水性物質第 1 級。安定性與反應性： 暴露於空氣中會自燃，常溫常壓下與水激烈反應）