四、半導體光電廠常使用矽甲烷（Silane, SiH4）當作製程氣體，針對矽甲烷的氣瓶櫃（Gas Cabinet），其標準的防護措施有那些？請至少列出五種。（20 分）

二、評估半導體機台的相對危害過程中，在針對估算特氣外洩流量時，需先求出管內特氣的流速，再利用白努利方程式以求出外洩流量。假設管內特氣流量為 Q SCCM （standard cubic centimeter per minute），管截面積為 A，管內氣體流速 v 計算如下： v = Q / A 試問上述計算式是否正確？若否，請導出正確的式子。（15 分）