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申論題資訊

試卷:99年 - 99 專利商標審查特種考試_三等_光電工程:半導體製程#52308
科目:半導體製程
年份:99年
排序:0

題組內容

三、

申論題內容

⑶在擴散過程中,一般都會使用預先沉積(Predeposition)與驅入擴散(Drive-in diffusion)兩個步驟來進行擴散,請說明這兩個步驟分別所扮演的功能為何? (10 分)