申論題

9. 藍曬法又稱作氰版顯影，是由英國的 John Herschel 爵士所發明，而後由英 國女植物學家安娜·阿特金斯（Anna Atkins，1799-1871）利用藍曬法製作的 藻類植物圖鑑，將此技術發揚光大。除了用於紀錄植物輪廓生長圖，也常使用 於複印建築工程圖或機械結構圖。近期高雄市更有高中開設半導體課程，以藍 曬實驗模擬半導體製作過程中的黃光微影製程。這個模擬實驗的作法，是將草 酸鐵鉀（potassium ferrioxalate）放置在醋酸中，使鐵(Ⅲ)離子被釋出。 鐵(Ⅲ)離子與草酸可發生光催化反應，故草酸鐵鉀與醋酸的混合溶液必須隔 離光線來收藏。將上述草酸鐵鉀與醋酸的混合溶液與赤血鹽水溶液在暗室中混合後，塗在濾紙上以日光進行曝光，在曝光的過程中，利用透明塑膠袋繪 製圖案、模擬光罩覆蓋於光源與濾紙之間，就可以做出藍底的圖案。若有高 中學生向您詢問上述模擬實驗之原理，請根據前後文的敘述加以推測，並搭配反應式詳細說明之。(4 分)