題組內容

二、由於材料及應用的發展趨勢均朝向微小化，微結構的觀察在製程開發上 顯得相當重要，目前穿透式電子顯微鏡的高解析影像（HRTEM）及掃瞄 穿透式電子顯微鏡的高角度環形暗場像（STEM/HAADF）均能得到原子 級的解析度，

⑵請說明以上兩種設備 之解析度主要決定因素分別為何？（10 分）