申論題 - 阿摩線上測驗

申論題資訊

試卷：101年 - 101年專門職業及技術人員高等建築師、技師、第二次食品技師暨普通不動產經紀人、記帳士考高等_工業安全技師#26136
科目：(工業)安全工程
年份：101年
排序：0

四、針對半導體光電製程，回答下列問題：

⑵針對控制SiH4輸送的氣動閥，其領氣閥（pilot valve）的氣源應選用GN2（氣態氮氣）或CDA（壓縮乾燥空氣）？為什麼？（13 分）