三、半導體光電產業常使用同軸式（coaxial tubing）管件（即一般俗稱的雙套 管）輸送特殊氣體，為了防止特殊氣體外洩，針對同軸式管件與氣瓶櫃 （Gas Cabinet）間常見的設計方式有那幾種？繪圖說明之。 （25 分）
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