申論題 - 阿摩線上測驗

申論題資訊

試卷：100年 - 100年專門職業及技術人員高等建築師、技師、第2次食品技師暨普通不動產經紀人、記帳士考高等_工礦衛生技師#27031
科目：技師◆作業環境控制工程
年份：100年
排序：0

三、離子佈植機（ion implanter）又稱為離子注入機，乃一可將能量為數萬電子伏特（數十keV）至數十萬電子伏特（數百keV）的離子植入固體（例如晶片）表面的設備，是半導體製程非常重要的設備。請敘述離子佈植機操作及維修時的潛在危害有那幾類？並請舉例說明之。（20 分）