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申論題資訊

試卷:108年 - 108 鐵路特種考試_員級_機械工程:機械製造學概要#76877
科目:機械製造學
年份:108年
排序:0

申論題內容

五、在超大型積體電路製程(VLSI)裡,請說明物理氣相蒸鍍(PVD)及化 學氣相蒸鍍(CVD)兩種主要製作薄膜的製程及其優缺點。(20 分)