申論題 - 阿摩線上測驗

申論題資訊

試卷：99年 - 099年專門職業及技術人員高等建築師、技師暨普通不動產經紀人、記帳士工業安全技師#27485
科目：(工業)安全工程
年份：99年
排序：0

四、依氣體進入氣室內，閥為開啟或關閉，半導體光電產業常用的氣動閥可分為那兩種？試說明之。半導體設備中製程氣體（如矽甲烷、砷化氫、磷化氫）的控制應採用上述那一種閥？為什麼？（25 分）