四、目前在實務上處理工廠廢氣中揮發性有機物常採用蓄熱式焚化爐(Regenerative Thermal Oxidation)為防制設備,請說明其工作原理、適用的揮發性有機物濃度範 圍及處理的廢氣風量範圍、在高科技產業可能碰到的問題及解決方法。(20 分)