題組內容

三、表面化學分析在現行儀器分析的應用越來越廣，衰減式全反射傅立葉轉換紅外線光譜法（ATR-FTIR）為其中一個例子。

(二)取樣深度（sampling depth）為表面分析法的重要因子，ATR-FTIR 受到取樣深度的限制，無法對樣品的極表面（奈米等級）進行分析，但 X- 光光電子能譜儀（X-ray photoelectron spectroscopy）可以進行奈米等級的表面分析，請說明此一儀器如何達到奈米等級的表面分析。