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111年 - 111 專技高考_化學工程技師:工業化學#111933
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題組內容
五、電子產品為臺灣重要的產業,其中的矽晶圓(silicon wafer)是半導體的 起始材料。
(二)試述製造矽晶圓程序方法。(15 分)
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(一)曝光顯影(photolithography)
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(一)說明煉焦的概略程序。(10 分)
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(二)除了焦炭主要產物,還有那些重要的副產品。(5 分)
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(三)指出可能的污染物和處理的方法。 (5 分)
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