五、探討某半導體的三種氣體配方對晶圓片的表面平整度的影響。令 μi表示配方 i 晶圓片的表面平整度之平均數每種氣體配方抽 6 個資料,利用表 1 之資料回答問題: (每小題 10 分,共 20 分)
⑴完成變異數分析表(填入(a)–(e)值)。