五、考慮 Si 的 SiO2熱成長的機制可分為兩個步驟:氧分子擴散通過已成長 的 SiO2然後與下面的 Si 進行反應形成 SiO2。假設擴散的氧分子通量與 SiO2厚度成反比。分別說明何時擴散步驟、反應步驟會成為瓶頸步驟。 而在前述兩種狀況下,SiO2的厚度與時間的關係分別為何?(20分)