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113年 - 113 高等考試_三級_電子工程:半導體工程#121484
科目:
半導體工程 |
年份:
113年 |
選擇題數:
0 |
申論題數:
7
試卷資訊
所屬科目:
半導體工程
選擇題 (0)
申論題 (7)
(一)電子與電洞濃度分別為何?(10 分)
(二)若外加電場為 E=15 V/cm,其漂移電流密度為何?(10 分)
(一)請輔以數學表示式說明影響半導體「導電率(conductivity)」之因素為何?(10 分)
(二)載子傳輸包含漂移(drift)與擴散(diffusion)兩種主要機制。請輔以數學表示式說明影響半導體「電流密度(current density)」之因素 為何?(10 分)
三、p-n 接面二極體與蕭特基能障(Schottky barrier)二極體均可具有整流 (rectification)功效。請輔以數學表示式說明影響上述兩者元件之「逆向飽和電流密度(reverse-saturation current density) 」之因素分別為何?(20 分)
四、矽半導體 n 通道金屬-氧化物 -半導體場效電晶體(MOS-FET)之閘極長度 L = 1.25 μm、電子遷移率 μ
n
= 650 cm
2
/V-s、臨界電壓 V
th
= 0.65 V、 閘極氧化層電容 C
ox
= 6.9 × 10
-8
F/cm
2
,且測得在閘-源極偏壓 V
GS
= 5 V 之汲極飽和電流(I
D, sat
)值為 8 mA。試求閘極寬度(W)為何?(20 分)
五、試就「加熱週期」、「加熱率」、「熱預算」、「製程產能」等四項因素, 分別比較傳統爐管熱退火與快速熱退火(RTA)技術之差異?(20 分)
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