八、在積體電路製造技術中,採用的絕緣技術有局部氧化(Local Oxidation of Silicon, LOCOS)和淺溝槽絕緣(Shallow Trench Isolation, STI),請分別說明局部氧化與淺溝 槽絕緣的製作技術、缺點與應用在那一種線寬製程?(20 分)

詳解 (共 1 筆)

陳政成
陳政成
詳解 #2575489
2018/01/14
LOCOS與STI都是用來隔離元件用,S...
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