依照「勞工安全衛生設施規則」第一百八十五條之一規定，雇主對於常溫下具有自燃性之四
氫化矽(矽甲烷)之處理，除依高壓氣體相關法規規定辦理：
(一)氣體設備應具有氣密之構造及防止氣體洩漏之必要設施，並設置氣體洩漏檢知警報系統。
(二)氣體容器之閥門應具有限制最大流率之流率限制孔。
(三)氣體儲存於室外安全處所，如必須於室內儲存者，應置於有效通風換氣之處所，使用時
應置氣瓶櫃內。
(四)未使用之氣體容器與供氣中之容器，應分隔放置。
(五)提供必要之個人防護具，並使勞工確實使用。
(六)避免使勞工單獨操作。
(七)設置火災時，提供冷却用途之灑水設備。
(八)保持逃生路線通暢。
第177條
對於作業場所有易燃液體之蒸氣、可燃性氣體或爆燃性粉塵以外之可燃性粉塵滯留，而有爆炸、火災之虞者，應依
危險特性採取通風、換氣、除塵等措施外，並依左列規定辦理：
一、指定專人對於蒸氣、氣體之濃度，於作業前測定之。
二、蒸氣或氣體之濃度達爆炸下限值之30%以上時，應即刻使勞工退避至安全場所，並停止使用煙火及其他為點火源之虞之機具，並應加強通風。
三、使用之電氣機械、器具或設備，應具有適合於其設置場所危險區域劃分使用之防爆性能構造。 前項第三款所稱電氣機械、器具或設備，係指包括電動機、變壓器、連接裝置、開關、分電盤、配電盤等電流流通之機械、器具或設備及非屬配線或移動電線之其他類似設
可 燃 性 氣 體 （ 氨 及 溴 甲 烷 以外）之高壓氣體設備或冷媒設備使用之電氣設備，應具有適應其設置場所及該氣體種類之
防爆性能構造。
1.氣體設備應具有氣密之構造及防止氣體洩漏之必要設施，並設置氣體洩漏檢知警報系統。
2.氣體容器之閥門應具有限制最大流率之流率限制孔。
3.氣體應儲存於室外安全處所，如必須於室內儲存者，應置於有效通風換氣之處所，使用時應置於氣瓶櫃內。
4.未使用之氣體容器與供氣中之容器，應分隔放置。
5.提供必要之個人防護具，並使勞工確實使用。
6.避免使勞工單獨操作。
7.設置火災時，提供冷粃用途之灑水設備。
8.保持逃生路線暢通。
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