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102年 - 102 地方政府特種考試_三等_電子工程:半導體工程#39521
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申論題
試卷:102年 - 102 地方政府特種考試_三等_電子工程:半導體工程#39521
科目:半導體工程
年份:102年
排序:0
申論題資訊
試卷:
102年 - 102 地方政府特種考試_三等_電子工程:半導體工程#39521
科目:
半導體工程
年份:
102年
排序:
0
申論題內容
六、光學微影製程的解析度和焦距深度都和數值孔徑(Numerical aperture)有關,請以 圖示說明當數值孔徑增大時,解析度變好但是焦距深度變差的原因。(20 分)