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95年 - 95 高等考試_三級_電子工程：半導體工程#40532

科目：半導體工程 | 年份：95年 | 選擇題數：0 | 申論題數：9

試卷資訊

所屬科目：半導體工程

選擇題 (0)

申論題 (9)

一、請說明積體電路（IC）製程中 “ 60 奈米＂ 製程代表何種意義？是指何種元件之那一 部分之尺寸？（10 分）
二、無塵室潔淨度之定義 class 100 代表何種意義？（10 分）
【已刪除】三、一個發光二極體其材料特性如圖一，此元件電－光轉換效率為
 4 n1n2(1-cosθc)/(n1+n2)2， 其中 n1 為空氣折射係數，n2 為半導體折射係數，θc 為臨界角，求 Al0.3Ga0.7As 發光 二極體操作在 0.898 µm 之效率。（20 分） 
⑴若電阻材料為鋁，其電阻率 3 µΩ · cm，其尺寸為 寬：3 µm，厚度：1 µm，長度：500 µm。（10 分）
⑵若電阻材料為銅，其電阻率 2 µΩ · cm，其尺寸為 寬：0.3 µm，厚度：0.5 µm，長度：1 mm。（10 分）
⑴計算並繪出以電壓為函數之輸出功率圖。（10 分）
⑵計算填滿因子（Fill Factor）。（10 分）
⑴濕蝕刻，⑵電漿蝕刻，
⑶以電鍍製程鍍膜，⑷以熱蒸鍍系統鍍上金屬後，個別之表面圖案為何？（20 分）