題組內容

六、在電漿（plasma）應用製程中，兩電極間加上 RF，因電子移動速度較離子快，會形 成電漿電位（plasma potential）VP，令電漿相對 RF 電極之直流壓降（DC bias）為 Vx，相對接地電極之直流壓降為 Vy，RF 電極面積為 Ax，接地電極面積為 Ay，其 中 Ay = n Ax，關係式為 Vx/Vy = n4。已知兩電極間之自偏壓（self-bias）為 Vy 的 1.25 倍，VP = 20 V，請求出：

⑴ n =？（8 分）

詳解 (共 1 筆)

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詳解 #4545482
2021/02/15
電極偏壓 = Vx-Vy Vx-Vy ...
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