二、半導體製造廠使用管型高溫爐(tubular furnace)以進行矽晶圓的氧化、擴散和退火等處理。管型高溫爐,爐管的外管徑為 100 cm,管外再包覆 兩種絕熱材料,以維持操作環境的安全。第一層包覆為 150 mm 厚的 A 層,材料之熱傳導率(thermal conductivity)為 0.15 W/m•℃;第二層包 覆為 250 mm 厚的 B 層(材料的熱傳導率為 1.50 W/m•℃)。高溫爐的爐管外表溫度為 1200℃,包覆體與外界接觸面的溫度為 50℃。
(二)假設兩包覆層間接觸不良,存在每公尺爐管 0.1℃/W 的「接觸熱阻」 (contact resistance) ,請計算每公尺爐管的熱損失為多少 W?(10 分) 備註:ln(50)= 3.912;ln(65)= 4.174;ln(90)= 4.500。