題組內容

四、設有一理想的 Si MOS 電容,維持在 T= 300 K,其元件相關參數如下 
1.閘極材料為 p+多晶矽(其功函數ΦB=5.2 ev) 
2.基板為 n 型矽且雜質摻雜濃度 ND 為 1018 cm -3 
3. SiO2的厚度 xox = 2 nm 試求:

(二)此 MOS 電容的臨界電壓(threshold voltage),VT為何?(10 分)