題組內容

五、請回答下列關於電子級化學品製程生產問題：（每小題 7 分，共 28 分）

(四)比較濕蝕刻與乾蝕刻在化學品與製程特性上的不同。

詳解提供者：nomi

濕蝕刻主要使用液態化學品進行，具有成本低、速度快，且適合大面積均勻蝕刻的優點，但蝕刻方向為等向性，會造成側向侵蝕（底切）。

乾蝕刻則使用氣體電漿，能透過物理或化學反應蝕刻，製程為非等向性，可實現高精度、垂直側壁的圖案，適合微小結構製作，但成本高、設備複雜。 (辛耘企業股份有限公司)