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99年 - 99 高等考試_三級_電子工程:半導體工程#40348
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申論題
試卷:99年 - 99 高等考試_三級_電子工程:半導體工程#40348
科目:半導體工程
年份:99年
排序:0
申論題資訊
試卷:
99年 - 99 高等考試_三級_電子工程:半導體工程#40348
科目:
半導體工程
年份:
99年
排序:
0
申論題內容
五、請繪圖說明薄膜沈積的 sidewall step coverage 和 bottom step coverage 的定義,並簡 單解釋這兩個值通常小於 1 的原因。(15 分)