申論題

四、目前業界製作發光二極體（Light emitting diode, LED）或雷射二極體（Laser diode, LD）元 件，最常用的磊晶方法為有機金屬化學氣相沉積法（Metal Organic Chemical Vapor Deposition, MOCVD），而較早期的磊晶技術液相磊晶法（Liquid Phase Epitaxy, LPE），亦 可製作 LED 或 LD 元件，請說明以 MOCVD 和 LPE 來比較，MOCVD 法製作的優 勢為何？（20 分）