⑵在一光學微影製程（photolithography）系統，假如透鏡的直徑為 5.0 cm， 透鏡至影像的距離為 7.0 cm，若使用的紫外光波長為 350 nm，則此系 統的最小線距解析度（line resolution）為何？（10 分）

詳解 (共 1 筆)

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詳解 #4543260
2021/02/13
數值光圈之公式為:    NA = 2r...
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