題組內容
四、設有一金屬/n-型半導體接面:
⑵請說明其形成歐姆接觸(ohmic contact)之條件,並繪出其能帶圖。 (10 分)
詳解 (共 1 筆)
詳解
歐姆接觸是半導體設備上具有線性並且對稱的電流-電壓特性曲線(I-V curve)的區域。如果電流-電壓特性曲線不是線性的,這種接觸便叫做蕭特基接觸。典型的歐姆接觸是濺鍍或者蒸鍍的金屬片,這些金屬片通過曝光製程布局。低電阻,穩定接觸的歐姆接觸是影響積體電路性能和穩定性的關鍵因素。它們的製備和描繪是電路製造的主要工作。