四、⑴成長二氧化矽（SiO2）薄膜的方式通常都使用熱氧化法（thermal oxidation），熱氧化法又分乾氧化（dry oxidation）與濕氧化（wet ，請解釋為什麼濕氧化的成長速率大於乾氧化的成長速率？ oxidation）（10 分）

乾氧化以高溫促使氧氣與矽反應生成二氧化矽...