題組內容

七、在製作元件的歐姆接觸(ohmic contact)技術中,我們通常在元件的表面層摻雜高濃 度,再鍍上蕭特基(Schottky)金屬層,或者在元件表面層鍍上合金金屬層,接著進 行熱處理而製作歐姆接觸。

(二)在接觸電 阻的量測技 術, 我們常 使用 一種 稱為傳 輸線 方法( transmission line ,請描述此方法如何量測接觸電阻。 method) (10 分)