題組內容

五、TEOS（tetra-ethyloxy-silane）oxide 常使用於 PMD（premetal dielectric）及 IMD （intermetal dielectric），若不加其他摻雜物稱為 USG（undoped silicate glass）， 請說明：（每小題 5 分，共 15 分）

⑶ FSG 用途為何及需摻雜何種元素。

詳解 (共 1 筆)

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詳解 #4545441
2021/02/15
摻雜氟的矽玻璃，其薄膜間隙之填充力比US...
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