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申論題資訊

試卷:113年 - 113 高等考試_二級_電子工程:積體電路技術#123067
科目:積體電路技術
年份:113年
排序:0

題組內容

四、使用擴散技術(Diffusion technology)將矽(Silicon)晶體摻雜三族元素硼原子(Boron)形成 p 型半導體,若擴散時外加溫度為 1000℃,擴散時間 t 為 1 小時,矽晶體表面的硼濃度 C s 維持在,假設在 1000℃ 時,硼在矽晶體的擴散係數 D 為cm2 /s , 若擴散方程式為C (x,t) =,在時間 t = 0 時,濃度初值條件(Initial condition)C ( x, t ) = 0,在表面 x = 0 時的濃度邊界條件為 C ( x, t ) = Cs ,在距離表面極遠 處 x = ∞ 時的濃度邊界條件為 C ( x, t ) = 0,試求出:

申論題內容

(三)在表面 x = 0 處的擴散梯度
(各小題均計算至小數點後第二位)
(誤差函數公式:
(誤差函數公式: