五、考慮一個由金屬、氧化物、矽構成的 MOS 電容系統。金屬的工作函數 為 4.1 eV。氧化物的能隙為 8 eV,親和力(affinity)為 0.75 eV,厚度為 4 nm,介電係數為 3.8。矽的能隙為 1.1 eV,親和力為 4.15 eV,介電係數為 11.8。若矽經摻雜的電洞濃度為
,矽在 300 K 的
。波茲曼常數為
eV/K。
(二)求氧化物電容的值,以 F/cm2 為單位。真空介電係數 ɛ0 =
F/cm。 單位電荷 q =
C,若在氧化物與矽的介面出現一層面濃度為
的正電荷,請問平能帶電壓的變化會如何?