五、考慮一個由金屬、氧化物、矽構成的 MOS 電容系統。金屬的工作函數 為 4.1 eV。氧化物的能隙為 8 eV,親和力(affinity)為 0.75 eV,厚度為 4 nm,介電係數為 3.8。矽的能隙為 1.1 eV,親和力為 4.15 eV,介電係數為 11.8。若矽經摻雜的電洞濃度為
,矽在 300 K 的
。波茲曼常數為
eV/K。
(一)畫出此金屬、氧化物、矽 MOS 系統的平能帶圖(flat band diagram)。 並求此 MOS 系統的平能帶電壓
(flat-band voltage)。