阿摩線上測驗 登入

申論題資訊

試卷:111年 - 111 地方政府特種考試_三等_電子工程:半導體工程#112359
科目:半導體工程
年份:111年
排序:0

題組內容

四、考慮一多晶矽閘極金氧半電容(polysilicon-gate MOS capacitor) ,在高摻雜的閘極,其 EF - EC = 0.2 eV;在一般摻雜的矽基板,其 EC - EF = 0.2 eV。 假設此結構理想化,

申論題內容

(二)當閘極電壓等於零(VG = 0)時,此多晶矽閘極金氧半電容是處於下列那一種情況?聚積(accumulation)?空乏(depletion)?反轉 (inversion)?(10 分)

詳解 (共 1 筆)

詳解 提供者:hchungw

為了分析這個多晶矽門金氧半(MOS)電容的狀態,我們需要考慮提到的能帶結構和門電壓。在這個情況下,我們有:

  • 高摻雜的多晶矽門,其費米能級 EF​ 比導帶 EC​ 低 0.2 eV(EF - EC = 0.2 eV)。
  • 一般摻雜的矽基板,其導帶 EC​ 比費米能級 EF​ 高 0.2 eV(EC - EF = 0.2 eV)。

當門電壓 VG​=0 時,我們需要確定這些條件如何影響矽基板表面的載流子分佈。

分析

  • 高摻雜的多晶矽門:由於 EF​ 接近 EC​,這表明多晶矽門是 n 型的(富含電子)。費米能級接近導帶表明電子是主要載流子。
  • 一般摻雜的矽基板EC​ 比 EF​ 高 0.2 eV,這意味著基板也是 n 型的(富含電子)。

矽基板表面狀態

  • VG​=0 時,多晶矽門和矽基板之間沒有額外的電壓施加,這意味著它們的費米能級是對齊的。
  • 由於兩者都是 n 型材料,基板表面不會出現顯著的載流子類型變化(例如,從電子到空穴)。
  • 在這種情況下,基板表面不太可能處於空乏或反轉狀態,因為這通常需要電子被排斥(空乏)或被空穴取代(反轉)。

結論

根據上述分析,當門電壓 VG​=0 時,這個多晶矽門金氧半電容最可能處於**聚集(accumulation)**狀態。在聚集狀態下,與體(bulk)相同類型的載流子(這裡是電子)在半導體表面聚集。由於門和基板都是 n 型,並且沒有施加電壓以改變這種狀態,電子會在矽基板的表面聚集。