申論題

定義

接觸電阻（Contact Resistance）

定義：接觸電阻是指在兩個導體之間接觸點的電阻。它是由於接觸面的不完美（如表面粗糙度、氧化層等）造成的額外電阻。

片電阻（Sheet Resistance）

定義：片電阻是指一個薄膜材料的電阻，通常用於描述半導體和薄膜電路中的電阻特性。它定義為材料的電阻除以其長度和寬度。

特徵電阻（Specific Contact Resistance）

定義：特徵電阻是指在半導體中，電流通過一個特定接觸面積的接觸點時的電阻。它用於描述接觸介面上的電流傳輸效率。

量測方法

量測接觸電阻

四點探針法：這是一種常用的測量接觸電阻的方法。通過在待測材料上放置四個探針，通過外側兩個探針施加電流，並使用內側兩個探針測量電壓，從而計算得到接觸電阻。

量測片電阻

四點探針法：同樣適用於片電阻的測量。在薄膜或半導體表面上均勻地放置四個探針，施加電流，測量電壓差，然後使用特定公式計算片電阻。

量測特徵電阻

傳輸線模型（TLM）測試：這種方法通過製作一系列不同間距的金屬-半導體接觸，並測量這些接觸的電阻來確定特徵電阻。通過分析電阻隨接觸間距變化的趨勢，可以計算出特徵電阻。

這些測量方法的選擇取決於材料的類型、所需的精確度以及可用的測試設備。特別是在微電子和納米技術領域，這些方法在材料特性分析和器件設計中非常關鍵。