題組內容

五、若以 SiO2 為遮罩材料（開口尺寸為 3 μm × 3 μm ）並採用 KOH 溶液分別蝕刻（100） 與（）晶面矽基板。

⑵請說明何以得到此種蝕刻圖案之原因。 （5 分）

詳解 (共 1 筆)

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詳解 #4545428
2021/02/15
蝕刻時，因 (111) 面較 (100)...
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