申論題 - 阿摩線上測驗

申論題資訊

試卷：104年 - 104 高等考試_三級_電子工程：半導體工程#39446
科目：半導體工程
年份：104年
排序：0

題組內容

五、TEOS（tetra-ethyloxy-silane）oxide 常使用於 PMD（premetal dielectric）及 IMD （intermetal dielectric），若不加其他摻雜物稱為 USG（undoped silicate glass），請說明：（每小題 5 分，共 15 分）

申論題內容

⑵ BPSG 用途為何及需摻雜何種元素。