以原子光譜法為例,有分成原子吸收光譜法及原子發射光譜法,其原理相同之處在於都須先將樣品進行原子化形成氣態原子,相異之處在於
原子吸收光譜法:通常使用待測金屬的中空陰極管(檢測不同金屬需使用不同中空陰極管)照射待測金屬原子,待測金屬原子會有吸收光現象(激發),使穿透光變小,再偵測某特定波長下的吸光度進行定性定量(待測金屬原子濃度越高吸光度越高)。如FLAA(火焰式原子吸收光譜法)。
原子發射光譜法:利用某裝置將待測金屬原子激發(從基態轉為激發態),再從激發態回到基態時放出光,偵測其所放出的光進行定性定量。